نام محصول: زیرکونیوم Sputtering Target

درجه مواد: Zr702 (ASTM B493 Grade R60702)

درجه خلوص: 99.95% (3N5) بر پایه فلز- (Hf-رایگان)

کاربردهای اصلی: بسته بندی نیمه هادی پیشرفته، پوشش نوری، الکترود پشتی سلول خورشیدی، لایه اتصال میکروالکترونیک (فرایند PVD)

استانداردهای ساخت: مطابق با ASTM B493/B493M-14 (مشخصات برای آهنگرهای زیرکونیوم و آلیاژ زیرکونیوم) و SEMI M13-1102 (مشخصات عمومی برای اهداف کندوپاشی)

چگالی نظری زیرکونیوم هدف کندوپاش 6.51 گرم بر سانتی متر مکعب است، چگالی آن بزرگتر یا مساوی 99.0 درصد است، رسانایی حرارتی آن 22.6 W/m·K و ضریب انبساط حرارتی آن (20-300 درجه) 5.7-K × 1/5.7 است. این پارامترها مقادیر اندازه‌گیری شده برای اهداف Zr702 با خلوص بالا در حالت بازپخت استاندارد، مناسب برای کاربردهای کندوپاش مگنترون DC/RF با قدرت بالا، و پایداری حرارتی بالاتر از خلوص 99.9 درصد را نشان می‌دهند.

کیفیت سطح محصول و الزامات ریزساختار:

اندازه دانه: کمتر یا مساوی 50 میکرومتر (متوسط)، اندازه‌گیری شده توسط EBSD (پراش پراکندگی برگشتی الکترون)، با انحراف استاندارد توزیع اندازه دانه کمتر یا مساوی 15 میکرومتر.

زبری سطح (Ra): کمتر یا مساوی 0.8 میکرومتر، با استفاده از پروفیلومتر نوری سه بعدی (ISO 4287)، بدون خراش، فرورفتگی و گودال اندازه‌گیری می‌شود.

Cracks/Delamination: Not permitted. Measured using ultrasonic C-scan (ASTM E213), any crack >0.5 mm in length or delamination >1 میلی متر مربع رد می شود.

ریزساختار: ساختار فازی -هم محور یکنواخت. SEM (بزرگنمایی 500×)، بدون منافذ، آخال‌ها و جداسازی.

تمام اهداف با پرس ایزواستاتیک داغ (HIP) متراکم می شوند تا از استحکام پیوند مرزی دانه بیشتر یا مساوی 180 مگاپاسکال اطمینان حاصل شود که نیاز به عدم شکست لایه لایه شدن را پس از بیش از یا مساوی 500 ساعت کندوپاش مداوم برآورده می کند.

مشخصات بسته بندی و حمل و نقل برای هدف زیرکونیوم کندوپاش (سازگار با GHS و IEC):

بسته بندی داخلی: مهر و موم شده با خلاء (کمتر یا مساوی 1×10-3 میلی بار) + پر شده با آرگون با خلوص بالا (99.999%)، مطابق با ASTM F2095.

بسته بندی بیرونی: کیسه فویل آلومینیومی دو لایه-رطوبت- + فوم بالشتک EPE + جعبه چوبی (مطابق با ISPM-15)، IEC 60068-2-78.

برچسب محافظت در برابر رطوبت: کارت نشانگر رطوبت-مقاوم + رطوبت (کمتر یا برابر با 5٪ RH)، مطابق با IEC 60068-2-30.

MSDS/SDS: مطابق با نسخه هفتم GHS، شامل 16 بخش استاندارد، از جمله خطرات انفجار گرد و غبار Zr (P201، P261، P{4}})، OSHA 29 CFR 1910.1200. برچسب حمل و نقل: UN 1399 (فلز جامد غیرقابل اشتعال) + مواد خورنده.

هر جعبه شامل یک بسته خشک کن (سیلیکاژل) و یک دستگاه ثبت رطوبت می باشد. کنترل دما در طول حمل و نقل: 5-30 درجه، رطوبت نسبی کمتر یا مساوی 40٪.

سوالات متداول

س: آیا می توانید مطالعات موردی مشتری معمولی زیرکونیوم Sputtering Target را ارائه دهید؟

پاسخ: ده تولیدکننده برتر نیمه هادی جهان، از جمله TSMC، Samsung Electronics، Intel، و SK Hynix، همگی کاربران نهایی{0}}زیرکونیوم هستند. فرآیندهای پیشرفته آنها (مانند گره‌های زیر 5 نانومتر) به طور گسترده از اهداف Zr702 برای لایه‌های سد فلزی، لایه‌های غیرفعال‌سازی رابط و ساختارهای متصل به هم استفاده می‌کنند که با استفاده از تجهیزات PVD مانند Applied Materials Endura® و Lam Research Kiyo® رسوب می‌کنند. بنابراین اهداف زیرکونیوم به عنوان مواد عملکردی کلیدی در فرآیندهای تولید انبوه آنها تعبیه شده است.

شرکت‌های پیشرو بین‌المللی نمایشگر و فتوولتائیک، مانند LG Display، Samsung Display، و First Solar، از هدف‌های زیرکونیوم با خلوص بالا در پوشش الکترود پانل OLED و تولید الکترود پشت سلول خورشیدی CIGS برای دستیابی به-مقاومت کم،-بالا{2}}پایداری لایه نازک فلزی بالا، پاسخگویی به تقاضای لایه نازک فلزی{{0}با خلوص بالا استفاده می‌کنند. تولید

شرکت‌های سازنده{0}بالاترین صنعت هوافضا و دفاعی، از جمله لاکهید مارتین، بوئینگ، و نورث روپ گرومن، از اهداف زیرکونیومی برای رسوب‌دهی PVD پوشش‌های مقاوم در برابر-دما، خوردگی{2} بالا استفاده می‌کنند که بر روی اجزای موتور، سیستم‌های حفاظت حرارتی، و سازه‌های پنهان رادار اعمال می‌شوند. استانداردهای تدارکات آنها سختگیرانه است و نیاز به انطباق با گواهینامه AS9100D و قابلیت ردیابی دسته ای COA دارد.

س: آیا اعتبار اسنادی بانکی را قبول می کنید؟

پاسخ: بله، ما اعتبار اسنادی (L/C) را به عنوان روش پرداخت برای خرید می پذیریم. لطفا در تماس باشید.

س: آیا اهداف کندوپاش زیرکونیوم به طور کلی توسط ISO 9001، IATF 16949، و AS9100 تایید شده اند؟

پاسخ: بله، در زمینه اهداف کندوپاش زیرکونیوم برای کاربردهای صنعتی و{0}بالا، گواهینامه های ISO 9001، IATF 16949 و AS9100D به استانداردهای ورودی جهانی و اجباری تبدیل شده اند.

تگ های محبوب: هدف کندوپاش زیرکونیوم، تولید کنندگان، تامین کنندگان، کارخانه هدف کندوپاش زیرکونیوم چین